Đề tài: Nghiên cứu phương pháp đo lường 3D bề mặt phản xạ và xác định vị trí, phân loại vi hạt sử dụng kỹ thuật holography.
Ngành: Kỹ thuật cơ khí.            
Mã số: 9520103
Người hướng dẫn khoa học:  
                                              1. PGS.TS. Vũ Thanh Tùng
                                               2. TS. Phạm Đức Quang
Cơ sở đào tạo: Đại học Bách khoa Hà Nội
Ngày đăng: 04/02/2026
TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN
Phát triển phương pháp và xây dựng các giải pháp mới cho hệ hiển vi dựa trên  kỹ thuật holography số có khả năng đo không tiếp xúc cấp độ nanomet, ứng dụng cho đo lường 3D bề mặt phản xạ và xác định vị trí, phân loại vi hạt trong không gian 3 chiều. Các đóng góp chính như sau:
1. Xây dựng cơ sở lý thuyết và minh chứng bằng thực nghiệm hệ đa gương hiển vi holography số lệch trục (MM-DHM) mới với khả năng đo lường 3D bề mặt phản xạ cấp độ nanomet. Hệ đo được phát triển trên cơ sở kỹ thuật bù pha và giảm thiểu sai sóng hệ quang học để nâng cao độ chính xác và ổn định của phép đo trong điều kiện thực nghiệm.
2. Phát triển phương pháp/thuật toán mới để xác định vị trí trong không gian 3 chiều và phân loại vi hạt theo kích thước dựa trên nguyên lý hệ hiển vi holography số đồng trục kép. Phương pháp cho phép xác định chính xác vị trí của các hạt nano trong mẫu trong thời gian ngắn, đồng thời phân loại các vi hạt có kích thước khác nhau thông qua phân tích hai hologram thu được từ hệ hiển vi holography số.
3. Thiết lập và áp dụng phương pháp đánh giá độ không đảm bảo đo theo chuẩn GUM cho hệ đo lường 3D bề mặt phản xạ để đánh giá độ tin cậy của phép đo trong điều kiện phòng thí nghiệm.
 Nội dung: Luận án bảo vệ cấp Đại học Bách khoa Hà Nội (xem tại đây)