Ngày đăng: 24/07/2023

Tên luận án: Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic

Ngành: Khoa học Vật liệu                                         Mã số: 9440122

Nghiên cứu sinh: Nguyễn Văn Đường

Người hướng dẫn khoa học: GS.TS. Chu Mạnh Hoàng

Cơ sở đào tạo: Đại học Bách khoa Hà Nội

TÓM TẮT KẾT LUẬN MỚI CỦA LUẬN ÁN

1. Luận án đã nghiên cứu đề xuất và thiết kế mô phỏng bộ chấp hành ưu tiên dịch chuyển một chiều theo phương z. Hệ thống lò xo vi treo kết cặp cơ có độ dịch chuyển lớn, khắc phục độ lệch biên của lò xo vi cơ dầm thẳng truyền thống và hạn chế dao động nhiễu của các mode lân cận.
2. Nghiên cứu và chế tạo thành công các mũi dò quét có kích thước nhỏ hơn 263 nm dựa trên công nghệ quang khắc truyền thống và vi cơ khối ướt.
3. Thiết lập quy trình chế tạo mảng các cấu trúc nano plasmonic dựa trên kỹ thuật in dập khuôn 3D cho hiệu suất khắc cao và có tính lặp lại.

Nội dung chi tiết luận án